Hálfleiðarar CNC vélaðir hlutar
Við framleiðum sérsniðnahálfleiðurum CNC vélaðir hlutarfrá teikningum viðskiptavina og CAD skrám, þar á meðalíhlutir fyrir lofttæmihólf, gasdreifingarplötur og festingar, meðhöndlun og klemmuhluti fyrir oblátur, dælu- og ventlaíhlutir, RF hlutar, kæliplötur, hitavaskar og íhlutir vinnslusetta. CNC beygjur, mölun, 5-ása vinnsla, svissnesk CNC og snúnings-mylla styður þétta þolhluta fyrir ætingu, útfellingu, steinþrykk, jónaígræðslu, CMP og mælifræðibúnað.
Hlutar hálfleiðarabúnaðar lifa í öðrum heimi en venjulegir iðnaðarhlutar: þeir verða að lifa aflofttæmi, ætandi ferli lofttegunda, plasma, hitahringrásir og -agnastjórnunarkröfur. Efnisval er því fyrsta ákvörðunin í hvaða hálfleiðaravinnsluverkefni sem er. Við gerum nákvæmar einkunnir -316L VIM-VAR og 316L ryðfrítt, 6061-T6 og 7075-T6 ál, 5 stigs títan, TZM mólýbden, OFHC kopar C10100, nikkel málmblöndur og PEEK/PTFE verkfræðiplast- og notaðu hreinherbergis-samhæfða áferð þar sem forritið krefst þess. Varahlutir eru framleiddir í samræmi við tilgreind mál, vikmörk, efni og frágangskröfur, með efnisskírteini í boði sé þess óskað.
Allt frá stakum frumgerðum fyrir þróun nýrra verkfæra til endurtekinna framleiðslukeyrslna fyrir varavinnslusett, við vinnum hálfleiðaraíhluti að teikningu -, sama magni.
CNC vélaðir hlutar fyrir hálfleiðara forrit
Etch & Deposition búnaður
Hólfhlutar · hólffóðringar · gasdreifingarplötur · rafskautssamsetningar · fókushringir · klemmuhringir · festingarhlutir fyrir sturtuhaus
Efni:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 5. stigs títan
Vacuum Systems & Gas Delivery
Tómarúmflansar (CF/KF/ISO) · hliðarlokaíhlutir · gaslínufestingar · VCR-gerð andlitsþéttingar · greinarblokkir · dælufestingarhlutar
Efni:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Meðhöndlun og flutningur á oblátum
Vélmennaarmar · endaáhrif · oblátuklemmur · kantgrip · kassettuíhlutir · lyftu- og gaffalhlutar · hreyfifestingar
Efni:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 beryllium kopar · Grade 5 títan
Ion Implantation & Beamline Parts
Geislalínuíhlutir · rafskaut · ljósop · bælingar- og útdráttarhlutar · há-hitahlíf
Efni:TZM mólýbden · Volfram W · Ta-2,5W tantal
RF & Plasma Power Components
RF tengi · gegnumstreymishús · rafskautahaldarar · hlífðarhlutar · snertifjaðrir
Efni:C10100 OFHC kopar · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Varmastjórnun og CMP
Kæliplötur · kæliíhlutir · hitavaskar · CMP höfuðhlutar · festihringir · plötuíhlutir
Efni:C10100 OFHC kopar · 6061-T6 · 316L
Mælifræði- og skoðunarbúnaður
Optískar festingar · sviðshlutar · grunnplötur · uppstillingarbúnaður · hreyfimyndafræðilegir festingar
Efni:6061-T6 · 7075-T6 · Grade 5 títan
Blautvinnsla og hreinsibúnaður
Tank- og baðíhlutir · úðaramar · stútahaldarar · rúllu- og burstahlutar · efna-þolnar festingar
Efni:316L · Hastelloy C-276 · 2. stigs títan
Hálfleiðarar CNC vélaðir hlutar sem við framleiðum
Vacuum Chamber hluti
Hólf, lok, fóðringar og festingarhringir með stýrðri flatneskju, þéttiflötum og litlum kröfum um losun.
Efni:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Vacuum flansar og festingar
CF (ConFlat), KF og ISO flansar, geirvörtur, millistykki og gaslínufestingar fyrir UHV þjónustu.
Efni:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Gasdreifingarplötur og stútar
Nákvæmar-boraðar dreifingarplötur, inndælingarstútar og festingarbúnaður fyrir sturtuhaus.
Efni:6061-T6 · Grade 5 titanium · 316L
Wafer klemmur, hringir og grip
Fókushringir, klemmuhringir, kantgripir og oblátuleiðir með þéttri flatneskju og víddarstýringu.
Efni:6061-T6 · C17200 · Grade 5 títan
Robot Arms & End Effectors
Wafer flytja armar, gafflar og end effectors með jafnvægi þyngd, stífni og agna stjórn.
Efni: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Dælu- og ventlaíhlutir
Hús, snúrur, skálar, pallettur, sæti og stilkurhlutar fyrir þurrdælur, hliðarventla og massa-flæðisstýringarbúnað.
Efni:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Vinnslusett og rekstrarvarahlutir
Skiptanlegir settahlutar sem hannaðir eru fyrir endurteknar pantanir með stöðugum vikmörkum og hreinleika.
Efni:6061-T6 · 5. flokks títan · 316L VIM-VAR
Kæliplötur og hitavaskar
Vatns-kældar plötur, hitaköllur og kælihlutar með flatneskju-mikilvægu yfirborði.
Efni:C10100 OFHC kopar · 6061-T6 · 316L
RF & snertihlutir
RF hús, tengihlutar, snertifjaðrir og EMI hlífðaríhlutir.
Efni: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Ertu með sérsniðinn hálfleiðarahluta? Sendu CAD skrána þína
CNC vinnsluferli fyrir hálfleiðarahluta
CNC beygja
Best fyrir:Festingar · geirvörtur · lokastönglar · dælurótarar · stútar
Tilvalið fyrir sívala íhluti með þéttri sammiðju.
CNC fræsun
Best fyrir:Hólf líkamar · grunnplötur · sundur · festingar
Hentar fyrir flata, prismatíska og fjöl-íhluti.
5-ása CNC vinnsla
Best fyrir:Endeffektorar · flókin hús · RF íhlutir
Vélar flóknar rúmfræði og samsett horn í einni uppsetningu.
CNC snúnings-fræsing
Best fyrir:Gaslínufestingar · tengihlutir með möluðum eiginleikum
Sameinar snúning og fræsingu fyrir flókna snúningshluta.
Svissnesk CNC vinnsla
Best fyrir:Litlar festingar · skynjaraíhlutir · nákvæmnispinnar
Hannað fyrir litla, mjóa og-mikla nákvæmni íhluti.
CNC mala og slípa
Best fyrir:Þéttifletir · legusæti · nákvæmnisholur
Notað fyrir mikilvæg þvermál, passa og speglaáferð (Ra 0,1–0,4 μm hægt að ná).
Hálfleiðara CNC vinnsluefni
Fyrir hálfleiðarahluta fer efnisval eftirlofttæmissamhæfi, ferli efnafræði, plasmaþol, hitastig, segulmagn, agnamyndun og hitastjórnun. Við vinnum úrval af málm- og verkfræðilegum plastefnum fyrir hólf, gaskerfi, meðhöndlun obláta, RF og varma hluta.
| Efni | Algengar einkunnir | Dæmigert hálfleiðaraforrit | Helstu kostir |
|---|---|---|---|
| Ál | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Hólf yfirbyggingar, grunnplötur, vélmenni armar, hita vaskar, sviga | Létt, anodizable, góð hitaleiðni; 6061-T6 er vinnuhesturinn fyrir kammerbúnað |
| Ryðfrítt stál | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Tómarúmsflansar, gastengi, ventlahlutir,-sterkur vélbúnaður | Tæringar- og hitaþol; 316L VIM-VAR er staðallinn fyrir UHV lága-útgasþjónustu |
| Títan | 2. bekkur (CP) · 5. bekkur (Ti-6Al-4V) | Gasdreifingarhlutir, vinnslusett, vélbúnaður fyrir blautvinnslu | Plasma- og efnaþol, hár styrkur-til-þyngdar, ekki-segulmagnaðir |
| Kopar | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 beryllíum kopar | RF hlutar, kæliplötur, snertifjaðrir, rafmagnsbúnaður | Frábær raf- og hitaleiðni; OFHC tilvalið fyrir RF og hitastjórnun |
| Nikkelblendi | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Efna-þolnar festingar, há-hitahlutar, mælifræðibyggingar | Efna- og hitaþol; Invar 36 býður upp á nær-núll hitauppstreymi |
Hvers vegna 316L VIM-VAR?Fyrir íhluti fyrir ofur-há-tæmi (UHV) vélum við316L VIM-VAR- tvöfalt-bráðið ryðfrítt með mjög lágu gasinnihaldi og innihaldi. Það losar minna úr gasi, suðu meira fyrirsjáanlega og helst hreint í lofttæmi. Ef teikningin þín tilgreinir VIM-VAR eða rafpússað 316L getum við útvegað efnið með fullri vottun.
Efnisval fyrir tómarúm og hreinherbergi
Tómarúmssamhæfi og útgasun
Efni inni í hólfinu mega ekki losna við gas eða fanga agnir. 316L VIM-VAR, 6061-T6 eru algengir kostir; porosity og yfirborðsáferð er stjórnað til að halda útgasun lágu.
Efna- og plasmaþol
Halógen og flúorað ferli lofttegunda ráðast á marga málma. TZM mólýbden, Ta-2.5W, Hastelloy C-276, Grade 5 títan eru valin fyrir ætandi efnafræði og útsetningu fyrir plasma.
Agna- og mengunarvarnir
Slit, brúnir og föst rusl mynda agnir sem drepa uppskeru. Við afgreiðum allar brúnir, stjórnum grófleika yfirborðs og hreinsum hluta í samræmi við hreinherbergisstaðla fyrir pökkun.
Varmastjórnun
Hiti hefur áhrif á einsleitni ferlisins. C10100 OFHC kopar og 6061-T6 eru notuð til að kæla plötur og hitakökur; TZM og wolfram höndla háhita geislalínu og hólfahluta.
Segul- og rafeiginleikar
Sum ferli krefjast ó-segulræns efnis eins og 316L, Grade 5 títan; RF og jarðtengingarbúnaður notar OFHC kopar C10100 og beryllium kopar C17200.
Nákvæmni og stöðugleiki
Hlutar í mælifræði og steinþurrku þurfa víddarstöðugleika: 6061-T6 og 7075-T6 ál, 5 stigs títan halda rúmfræði í gegnum hitabreytingar.
Hálfleiðara CNC vinnsluþol og forskriftir
Hálfleiðaraíhlutir þurfa oft míkróna-stigsnákvæmni á þéttingarflötum, festingarpunktum, flötum-snertiflötum og nákvæmnisholum, svo verkfæri setja saman rétt og ferlar haldast endurteknir.
| Forskrift | Dæmigert hæfileiki | Dæmigert hálfleiðaraforrit |
|---|---|---|
| Línulegar stærðir | ±0,01 mm (nákvæmni að ±0,005 mm) | Hólfhlutar, grunnplötur, dreifikerfi |
| Þvermál bora og skafts | ±0,005–0,01 mm | Dælurótarar, ventilstilkar, nákvæmnisfestingar |
| Flatleiki | Niður í 0,01 mm/100 mm | Þéttiflatar, kæliplötur, hreyfifestingar |
| Einbeiting / Runout | Niður í 0,01 mm | Snúningsdæluhlutir, tengi |
| Sönn staða | ±0,01 mm | Bolta-gatamynstur, gasdreifingargöt |
| Yfirborðsgrófleiki | Ra 0,2–0,8 μm staðall; Ra 0,1–0,4 μm sé þess óskað | Þéttingfletir, flötur-snertiflötur, innréttingar í hólfinu |
| Kanthreinsun | Stýrt á hverja teikningu (ör-afgreiðsla í boði) | Allir agna-mikilvægir hlutar |
| Þráðaþol | Samkvæmt ISO / ASME kröfum | Festingar, flansar, festingarbúnaður |
Mikilvægar eiginleikar sem við stjórnum
Innsiglun og O-hringir- stýrð dýpt, breidd og yfirborðsáferð fyrir lofttæmi og vökvaþéttingar.
Wafer-Snertiflötur- flatneskju- og grófleikastýring til að koma í veg fyrir skemmdir á oblátum og myndun agna.
Nákvæmar boranir og passa- nákvæmar holur fyrir legur, stokka og pressu-hluta.
Gasdreifingargöt- nákvæm gatastærð, staðsetning og afgreiðsla fyrir jafnt gasflæði.
Dagsetning og uppsetningareiginleikar- samkvæm viðmið fyrir endurtekna samsetningu og röðun.
Yfirborðsfrágangur fyrir hálfleiðara CNC hluta
Yfirborðsfrágangur er hluti af mengun og tæringarstefnu í hálfleiðarabúnaði. Rétt frágangur stjórnar ögnum, losun gass, efnaþol og rafhegðun.
| Yfirborðsfrágangur | Gildandi efni | Dæmigert hálfleiðarahlutar | Helsti ávinningur |
|---|---|---|---|
| Rafslípun | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Tómarúmflansar, gasleiðslur, hólffóðringar | Fjarlægir yfirborðsefni og innifalið; dregur úr útgasi og agnafanga |
| Aðgerðarleysi | 316L · 304L · 17-4 PH | Festingar, festingar, ventlahlutar | Fjarlægir laust járn, bætir tæringarþol |
| Gerð II anodizing | 6061-T6 · 6063-T5 | Hólf, grunnplötur, festingar | Einangrandi, tæringarþolið-lag; litavalkostir |
| Harð anodizing (gerð III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Notið yfirborð, leiðsögumenn, vélmennahluta | Hart, slitþolið-hlífðarlag |
| Raflaus nikkelhúðun | 6061-T6 · 7075-T6 · Stál | Chamber vélbúnaður, vinnslusett hlutar | Samræmd slit- og tæringarvörn |
| Gullhúðun | C10100 · C11000 · 6061-T6 | RF tengiliðir, tengihlutir | Lítið snertiþol, tæringarvörn |
| Blikkhúðun | C10100 · C11000 | Rafleiðarar, strætisvagnar | Lóðanleiki og tæringarvörn |
| Perlusprenging | 6061-T6 · 316L · Stál | Hús, hlífar, ó-mikilvæg yfirborð | Samræmd matt áferð (stýrt fyrir losun agna) |
| Hreinsun | Allt efni | Allir hlutar fyrir umbúðir | Fjöl-þrepa úthljóðshreinsun, engin olía, engin leifar, agna-stýrð |
Hálfleiðara CNC vinnsla gæðaeftirlit
Við skoðum mikilvægar stærðir, passa, flatleika, úthlaup og yfirborðskröfur í gegnum framleiðslu til að tryggja að CNC vélrænir hálfleiðarahlutar standist teikninguna. Fyrir verkefni sem krefjast skjalfestra gæða getum við útvegað efnisvottorð, stærðarskýrslur og hreinlætisskjöl til að styðja við komandi skoðun þína.
Efnis sannprófun
Efnis sannprófun
Málskoðun
GD&T skoðun
Þráðaskoðun
Yfirborðsfrágangur skoðun
Lokaskoðun
Skoðun umbúða
| Skoðunaratriði | Búnaður / Aðferð | Dæmigert hálfleiðarahlutar |
|---|---|---|
| Málskoðun | CMM · Þrýstimælir · Míkrómetrar | Heildarstærðir hluta |
| Þvermál bora og skafts | Boramælir · Pinnamælir · CMM | Dælurótarar, ventlastilkar, festingar |
| Flatness & Parallelism | Yfirborðsplata · CMM | Þétandi andlit, kæliplötur |
| Sönn staða | CMM | Holumynstur, gasdreifingarplötur |
| Yfirborðsgrófleiki | Grófleikaprófari | Lokandi andlit, flötur-snertiflötur |
| Þráðaskoðun | Go/No-Go Thread Gauges | Festingar og festingar |
| Efnis sannprófun | Litrófsmælir + efnisvottorð | Innkomið hráefni (EN 10204 3.1 í boði; VIM-VAR vottun sé þess óskað) |
| Hreinlætisskoðun | Sjónræn + agnaskoðun á beiðni | Hreinherbergi-afhentir hlutar |
| Lokaskoðun | CMM + Skoðunarskýrsla | Endanleg víddarsamþykki |
Þarftu skjalfest gæðaeftirlit?Sendu okkur teikningar þínar og skoðunarkröfur.
Frumgerð og lágt-rúmmál CNC vinnsla fyrir hálfleiðara
Hálfleiðaraverkefni byrja oft á frumgerðum - nýrra verkfærahönnunar, þróun vinnslusetta, uppfærsluhluta eða varahluta sem þarf að staðfesta fyrir framleiðslu. Við styðjumfrumgerð og lítið-magn CNC vinnslafrá fyrstu sýnum til endurtekinna lítilla-lotupantana.
Vinnsla frumgerða
Fyrir þróun nýrra tækja, staðfestingu á ferli og hönnunarbreytingar.
Dæmigert magn:1–10 stk
Lágt-magn framleiðsla
Fyrir tilraunakerfi, verkfærauppfærslur og fyrstu framleiðslukeyrslur.
Dæmigert magn:10–1,000+ stk
Endurtekin framleiðsla
Fyrir varavinnslusett og endurteknar pantanir með staðfestri hönnun.
Dæmigert magn:Byggt á kröfum verkefnisins
Hentar fyrir
Tómarúmshólf og vélbúnaður til að afhenda gas
Meðhöndlun obláta og klemmuhlutar
Hlutar til ætingar, útfellingar og jónaígræðslu
RF, rafmagns- og varmastjórnunarhlutar
Mælafræði og skoðunarbúnaður
Varahlutir og vinnslusett fyrir núverandi verkfæri
Pökkun og afgreiðslutími fyrir hálfleiðara CNC hluta
Umbúðir
Einstaklingsvernd:PE töskur, froðu eða hlífðarfilmur fyrir vélrænt yfirborð
Hreinherbergi umbúðir:Hreinsaðir hlutar tvöfaldir-pokaðir í hreinum pokum (köfnunarefnis-hreinsunarvalkostur í boði)
Litlir hlutar:Skiptaðar öskjur til að koma í veg fyrir rispur og-til-snertingu
Nákvæmni hlutar:Froðuinnlegg og aðskilin hólf fyrir mikilvæga íhluti
Sérsniðnar umbúðir:Hlutanúmer, merkimiðar, magn og -sérstakar pökkunarkröfur viðskiptavina
Dæmigerður afgreiðslutími
| Tegund pöntunar | Dæmigerður afgreiðslutími |
|---|---|
| Frumgerð | 5–10 virkir dagar |
| Lág-röð | 10–20 virka daga |
| Framleiðslupöntun | 15–30 virka daga |
| Endurtaka pöntun | 10–25 virka daga |
Algengar spurningar
Sp.: Hvaða hálfleiðara CNC vélræna hluta er hægt að framleiða?
A: Við framleiðum sérsniðna íhluti fyrir lofttæmihólf, flansa og gaslínufestingar, gasdreifingarplötur, oblátuklemmur og hringa, vélmennaarmhluta, dælu- og ventlahluta, jónaígræðsluhluta, RF íhluti, kæliplötur, hitakökur og vinnslubúnaðarhluta fyrir hálfleiðarabúnað.
Sp.: Hvaða CNC vinnsluþol geturðu náð?
A: Staðlað CNC umburðarlyndi okkar er venjulega ±0,05 mm, með nákvæmni vinnslu niður í ±0,02 mm og völdum mikilvægum eiginleikum í ±0,005–0,01 mm, allt eftir rúmfræði, efni og kröfum um teikningu.
Sp.: Geturðu útvegað 316L VIM-VAR fyrir tómarúmíhluti?
A: Já. Fyrir ofur-há-tæmiþjónustu getum við vélað 316L VIM-VAR (vacuum induction melted and vacuum arc remelted) með lágu gasinnihaldi, sem fylgir efnisvottun. Rafpólun er fáanleg til að draga úr losun gass og agna.
Sp.: Býður þú upp á -hreinsun og pökkun samhæfð við hreinsun?
A: Já. Hluta er hægt að þrífa með ómskoðun, þurrka og tvöfalda-poka í hreinum pokum (köfnunarefnishreinsun valfrjálst) til að halda yfirborði agna-lausu fyrir afhendingu í hreinu herbergi.
Sp.: Getur þú útvegað efnisvottorð og skoðunarskýrslur?
A: Já. Það fer eftir kröfum verkefnisins, við getum veitt efnisvottorð (EN 10204 3.1, þar á meðal VIM-VAR vottun), víddarskoðunarskýrslur, CMM-skýrslur og yfirborðsfrágangaskrár.
Sp.: Getur þú vélað ó-segulmagnaðir íhlutir?
A: Já. Við vinnum ekki-segulmagnaðir flokkar, þar á meðal 316L ryðfrítt, 5. títan, ál 6061-T6 og PEEK fyrir notkun þar sem forðast verður segulmagn.
Sp.: Hvaða yfirborðsáferð notar þú á hálfleiðarahluta?
A: Það fer eftir efni og notkun, við bjóðum upp á raffægingu, passivering, tegund II og tegund III harða rafskaut, raflausa nikkelhúðun, gull- og tinhúðun, perlublástur og hreinsun á hreinum herbergjum.
Sp.: Samþykkir þú 2D teikningar og CAD skrár?
A: Við getum unnið úr algengum STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF og 2D teikniskrám.
Sp.: Styður þú frumgerð og lítið-magn framleiðslu?
A: Já. Við styðjum frumgerðamagn frá 1–10 stykki, lítið-magn framleiðslu frá 10–1,000+ stykki, sem og endurteknar framleiðslupantanir fyrir vinnslusett og varahluti.
Sp.: Hver er dæmigerður leiðtími fyrir hálfleiðara CNC hluta?
A: Dæmigerður afgreiðslutími er 5–10 virkir dagar fyrir frumgerðir, 10–20 virkir dagar fyrir lítið-magn pantanir og 15–30 virkir dagar fyrir framleiðslupantanir, allt eftir flóknum hluta, magni, efni og frágangi.
Sendu 2D teikningu þína eða 3D CAD skrá, efnisflokk, magn, þol og frágangskröfur.
maq per Qat: hálfleiðara cnc vélað hlutar, Kína hálfleiðara cnc vélað hluta framleiðendur, birgja, verksmiðju, títan
chopmeH
Engar upplýsingarÞér gæti einnig líkað
Hringdu í okkur